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高精度程控勻膠機(jī)

產(chǎn)品簡介

高精度程控勻膠機(jī)型號:SYSC-100A
一. 產(chǎn)品應(yīng)用
是一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能電池、

產(chǎn)品型號:SYSC-100A
更新時間:2024-02-26
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:7727
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應(yīng)用領(lǐng)域石油

精度程控勻膠機(jī)型號:SYSC-100A

精度程控勻膠機(jī)
一.    產(chǎn)品應(yīng)用
是一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
二.    產(chǎn)品特點
1.     旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用為勻膠機(jī)設(shè)計的精密速伺服電機(jī)。
2.     優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能,Z大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)40000rpm/s(有負(fù)載的真實加速度)。
3.     兩項安全互鎖功能:
 (1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測功能,確保腔體關(guān)閉后才可啟動,防止勻膠過程中飛片造**身傷害;
 (2) 真空吸片具有真空檢測功能,若發(fā)生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運行。
4.     機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。
5.     勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料,經(jīng)CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液,避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。
6.     旋轉(zhuǎn)吸片臺采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料,經(jīng)CNC一體加工成型。耐溫、耐腐蝕、不變形。
7.     勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程Z多可分十段進(jìn)行,每段的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)??蓛Υ?0組工藝程序,隨時調(diào)用。
8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示,更直觀了解勻膠進(jìn)程;
9.     真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動程序控制,無需手動操作。
10.   旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,“預(yù)吸片時間”Z多為99s,確保基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,“解吸片時間”Z多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對膜層造成損傷。
11.   標(biāo)配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺,防止飛片。
三.    技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號SYSC-100A
可鍍膜基片尺寸Ø10~100mm
旋轉(zhuǎn)速度10~8000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率1rpm
速度精度<0.02%
旋涂加速度*0~40000rpm/s
每段加速時間999.9s
每段旋涂時間9999.9s
時間分辨率0.1s
預(yù)吸片時間99s
解吸片時間99s

**大旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤Ø50mm基片)的真實加速度.

 

 

產(chǎn)品名稱:藥物溶出儀 單杯藥物溶出儀
產(chǎn)品型號:RC-1

藥物溶出儀  單杯藥物溶出儀 型號:RC-1

●溶出度測試儀用于檢查藥物從片劑或膠囊劑等固體制劑在
 規(guī)定溶劑中溶出的速度和程度。
標(biāo)準(zhǔn)
●《中華人民共和國藥典》2015年版。
● 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《藥物溶出試驗儀》JB/T 20076-2005。
主要特點
●一杯一桿。
●機(jī)頭部分手動翻轉(zhuǎn),平穩(wěn)靈活。
●轉(zhuǎn)藍(lán)及槳桿等采用進(jìn)口SUS316L不銹鋼。
●采用微型水泵循環(huán)水流勻熱系統(tǒng),水浴溫度均勻。
●全自動智能化控制溫度、轉(zhuǎn)速及時間三個參數(shù)。
●可以隨意預(yù)置參數(shù);分時顯示預(yù)置值和實時值。
●自動化,自動檢測、自動診斷、自動報警。
技術(shù)指標(biāo)
●調(diào)速范圍   ?。ǎ玻啊玻埃埃┺D(zhuǎn)/分
●調(diào)速精度    ±2轉(zhuǎn)/分
●溫控范圍   ?。ㄊ覝亍矗担埃?br />●溫控精度    ±0.3℃
●定時范圍   ?。ǎ怠梗埃埃恚椋睢?br />●定時精度    ±0.1%
●轉(zhuǎn)籃擺動幅度  ±1mm
●槳桿擺動幅度  ±0.5mm
●轉(zhuǎn)軸不同心度  ±2.0mm
●電加熱器功率 ?。担埃埃?br />●連續(xù)工作時間  大于24小時
●電源     ?。玻玻埃郑担埃龋?br />●功率     ?。叮埃埃?/p>

 

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